Kawasaki Reinraum NX510

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Der NX510 ist ein Roboter, der über eine starre Armstruktur verfügt, die auf engstem Raum die Stufen der Wafer sowie die FOUP in beliebigen Positionen leicht erreichen kann. kann mit 2 oder 3 FOUP ohne eine Spur verwenden, erfüllt die Standards der ISO Klasse 1, Standard SEMI-F47 System der sofortigen Lösung für den Spannungsabfall und Neustart des automatischen Systems, wenn die Spannung wiederhergestellt wird, Standard SEMI-S2 Schutz der Umwelt und persönliche Sicherheit, Antikollisionssystem, hohe Linearität, Positionierung und große Präzision.

Controller D
 
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, weißer Raum ISO 1.
 
Spezifikation des D60-Controllers
  • Servo komplettes digitales System
  • Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
  • Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
  • Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
  • Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
  • Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
  • Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
  • Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
  • Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
  • Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
  • Servo komplettes digitales System
  • Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
  • Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
  • Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
  • Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
  • Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
  • Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
  • Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
  • Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
  • Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV

Hauptspezifikationen

Anzahl der Achsen: 4
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
 
Bewegungsbereich (°)
 
θ Achse
(Drehung JT2)
330 °
440 mm
Z-Achse
(hoch-runter JT3)
832 mm
336 °
X-Achse
(ein / aus JT4)
 
W-Achse - niedriger
(Drehung JT6)
-
W-Achse - oben
(Drehung JT7)
 

Roboteranwendungen

Sauberes Zimmer

Anwendungen

Handhabung von Teilen , Assemblierung

Fotos

Diagramme